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クリーンルームにつての補足 １
クリーンルームの性能は、その部屋の中に含まれる浮遊微粒子の量、空気清浄度で決められ、８つのレベルがある。クラス１が最も清浄（浮遊微粒子が含まれる量が少ない）でクラス8が最ももレベルが低い。
清浄度は、クリーンルームの１立方メートルの空気中に含まれる浮遊微粒子の数で表現される。クラス1では、0.1ミクロンの粒径の粒子が１立方メートル中に10個以下、0.2ミクロンの粒子が2個以下、0.3ミクロンでは、1個以下であることが要求される。径の小さい微粒子は、ある程度含まれるのは許されるが、径の大きい微粒子の数は、含まれるのは許されない。
クラス８では、０.１ミクロンの粒子が1億個以下、0.3ミクロンでは、約1000万個以下、0.5ミクロンは、350万個以下、5ミクロンの大きな粒子では、29000個以下である。
具体的には、クリーンルームの中に測定点を設定し、測定点毎に空気を連続サンプリングされ、その中の富裕微粒子が測定される。そして、全測定点の浮遊微粒子の濃度がそのクラスの上限値規格に入っていることを確認する。クラス1では、2立方メートルの空気をサンプリングし、0.1ミクロンの微粒子が1個以下、１０立方メートル中に0.2ミクロンの微粒子が、1個以下、20立方メートル中に0.3ミクロンの微粒子が1個以下であることで判定する。
ＬＳＩやＶＬＳＩの材料になるウエハーの製造工程では、不純物が多いと品質に大きく影響するためレベルの高いクリーンルームが要求される。最近では、安全衛生の点から、薬品製造工程や食品製造業でも、余り高いレベルではないがクリーンルームが使用されるようになっている。
更に詳細を知りたい方へは、下記参照
ＪＩＳ Ｂ ９９２０
クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法
クリーンルームの空気清浄度の評価方法
ＪＩＳ Ｂ ９９２３
クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法
ＪＩＳ Ｂ ９９２６
クリーンルームー使用する機器の運動機構からの発じん量測定方法
ＪＩＳ Ｂ ９９２７
クリーンルーム用エアーフィルター性能試験方法
ＪＩＳに関するホームページ 日本規格協会
ＪＩＳ目録
クリーンルームについての補足２
別紙参考資料参照
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